rf matching box原理
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嵌入式RFMatchingBox研製
https://ndltd.ncl.edu.tw
RF Matching Box乃用於RF產生器及反應室間，保護與控制反應室得到最佳的功率轉移的一種裝置。 由於型阻抗匹配構造太過於複雜及控制不易，一般在電感耦合式電漿(Inductively-Coupled Plasma, ICP)設備會加裝L型阻抗匹配電路，在成本及功能上是最好的組合。
射頻匹配在10奈米以下半導體製程節點扮演要角
https://www.eettaiwan.com
射頻匹配(RF matching)在半導體製程中越來越受到重視。去除電漿製程中的射頻變異性極有可能提高良率和生產率，特別是在10奈米以及以下節點，隨著沉積 ...
RF為什麼需要阻抗匹配?
https://medium.com
以放大器的設計方塊圖來看，在電晶體輸入與輸出的的前後都會用一組Matching 電路做50歐姆匹配，特別在DC Bias 處要做好RF block，避免從DC端造成迴路。
阻抗匹配(Matching)
https://medium.com
在微波工程第五章裏頭有詳細介紹matching的原理與各種組合[1]，這裡簡單的敘述一下，阻抗匹配(Impedance matching)是指為了使信號功率能從信號源 ...
科學方法學物理與人工智慧（1140）─RF電漿的Matching Box
https://www.youtube.com
RF Matching Box乃用於RF產生器及反應室間，保護與控制反應室得到最佳的功率轉移的一種裝置。 由於型阻抗匹配構造太過於複雜及控制不易，一般在電感耦合式電漿(Inductively-Coupled Plasma, ICP)設備會加裝L型阻抗匹配電路，在成本及功能上是最好的組合。
RF Matching
https://franejian.wordpress.co
RF Matching · 1.只要走導納(admittance)圓都是並聯模式，走電阻(impedance)圓都是串聯模式。 · 2.往上為電感，往下為電容。 · 3.另外走順時鐘電感或電容值為 ...
第一章緒論
https://ir.lib.nycu.edu.tw
Matching box 內包含了兩個由馬達控制之可變電容及一個固定電感，如下. 圖所示，可變電容可分為Tune 與Match， Tune 電容為串聯，Match 電容為. 並聯，當RF 能量由 ...
阻抗匹配
https://zh.wikipedia.org
阻抗匹配（Impedance matching）是微波電子學裡的一部分，主要用於傳輸線上，來達至所有高頻的微波信號皆能傳至負載點的目的，幾乎不會有信號反射回來源點，從而起到 ...
阻抗匹配(Impedance matching)
https://chendaneyl.pixnet.net
阻抗匹配(Impedance matching)是指為了使信號功率能從信號源（source）到負載（load）得到最有效的傳遞，即信號在傳遞過程中儘可能不發生反射現象。
TWI554161B
https://patents.google.com
本發明的優點在於：通過採用本發明所述的射頻匹配網路，只調節其中可變電容的大小即可實現射頻匹配網路在兩種阻抗狀態的即時切換，從而保證兩射頻偏置頻率在射頻偏置頻率源 ...